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ews center兩用無油真空泵的應用領域非常廣泛,下面小編從幾個方面來說一下:
1、無油真空泵是半導體刻蝕的工藝。在這些生產工藝中往往會用到或者是生成腐蝕性氣體和研磨的微粒;
2、兩用無油真空泵低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
3、在食品、醫(yī)藥、化學等工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,防止有機溶劑造成的污染比較適合用無油真空泵;
4、除了半導體工藝外的某些微粒的工藝,不是希望微?;烊氡糜椭?,而是希望微粒排出泵外,用形式的真空泵是可以滿足要求的;
5、用作一般的無油真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。
近些年來,無油真空泵得到了迅速的發(fā)展,不僅很多公司研制使用新型的真空泵,許多單位也一直對真空泵進行研究。現(xiàn)在真空泵分為接觸型和非接觸型,它們的特點各部相同,可以根據(jù)它們的用途不同,再加上自己的需求選擇合適的真空泵。(兩用無油真空泵
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